幹式真空泵是真空泵行業使用較為頻繁的一種設備，其中大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。詳細的設備運行原理可參考一下圖片：
對於普通的無油真空係統來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能完全解決問題，而且使係統顯得複雜。而使用適當型式的幹式真空泵，則可以達到理想的使用效果。
幹式真空泵，是利用一對螺杆，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺杆經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺杆與螺杆之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，幹式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，真空更高，消耗功率更低，具有節能，免維修等優點。它是油封式/水環式/噴射式真空泵的更新換代產品。
